真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。下面，SIMUWU 公司技术部就为您介绍真空烧结炉可能出现的问题以及应急措施。

高真空烧结炉冷却水异常

1、确认加热电源已停止。

2、炉外发生漏水，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施，如能保证水量，请继续保持真空，如不能采取应急措施，保持原状，确认设备冷却下来。

3、冷却水发生异常时，设备处于停止状态，马上接通紧急用冷却水。

4、在高温(超过200℃即视为高温)时，如果冷却水停止了，如果不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。

停电

1、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。

2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。

3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。

有些国家和地区的电压不稳定，比如印度和巴基斯坦等南亚地区经常受到停电的困扰，应当给设备配备发电机和UPS电源以保证核心设备在停电时的正常运行。SIMUWU 印度真空炉，巴基斯坦真空烧结炉都有相应的真空系统解决方案。

加热电源掉电

1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。

2、接地故障。

3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固，与反射屏绝缘要好。

4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。

充气气体(氩气或氮气)停止

1、抽真空开始前，气体充入时间长或者无法充入时，请确认气体管路是否被堵塞。

2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。

3、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。

4、确认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。

SIMUWU 工程师建议真空炉用户应在正规加气站购买使用气体（N2 和Ar2气体等）应使用纯度较高的气体，如果购买气体不方便

SIMUWU 可以提供一站式整体气体解决方案，比如用制氮机等提供高纯氮气。

真空室压力恶化

1、真空排气时间比通常长时，应把设备停下来进行检查，根据真空室内构造物不同状态下放气的影响，也有导致压力升高的情况。
2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。

在真空和保护性气氛中，对金属、陶瓷及一些难熔金属中间化合物粉末加热烧结，要获得一定密度和具有一定机械性能的材料时，一般采用两种工艺;即有压烧结和无压烧结。有压烧结工艺是将粉状材料置于真空和保护性气氛中的高碳模具中，高温加热到软化状态时，加压成型。这种工艺需要一种真空热压烧结才能实现。该烧结炉具有温度高、真空度高、热压力高的特点。 SIMUWU 公司提供各种真空压力烧结设备，广泛用于碳化硅碳化硼和氮化硼等陶瓷产品，碳化钨，钨钴合金等硬质合金产品的烧结热处理。