所谓真空热处理是工件在10^-1~10^-2Pa真空介质中进行加热到所需要的温度，然后在不同介质中以不同冷速进行冷却的热处理方法。

真空热处理被当代热处理界称为高效、节能和无污染的清洁热处理。真空热处理的零件具有无氧化，无脱碳、脱气、脱脂，表面质量好，变形小，综合力学性能高，可靠性好（重复性好，寿命稳定）等一系列优点。

真空热处理工艺参数的确定

1.真空度

在考虑工作真空度时应注意几点:

(1）在900℃以前，先抽0.1Pa 以上高真空，以利脱气。

(2）10Pa进行加热，相当于1PPM 以上纯度惰性气体，一般黑色金属就不会氧化。

(3）充入惰性气体时，如充133Pa，(50%N₂+50%H₂）的氮氢混合气体，其效果比10^-2~10^-3Pa真空还好。此时氧分压66.5Pa是安全的。

(4）真空度与钢表面光亮度有对应关系。

(5）一般10^-3~133Pa真空范围内，真空度温差为±5℃，如气压上升，温度均匀性下降，所以充气压力应尽量可能低些。

2.真空淬火加热时间

3.真空油淬

真空油淬时注意的几个问题:

①真空油淬压力填充纯N₂ 40kPa~67kPa。

②淬火油量:工件:油重量1:10~15，油池比油与工件体积之和大15~20%。

③油中不许有水分。当达0.03%时，工件变暗;0.3%时，冷速明显变化。

④真空淬火油的调制。

⑤工件入油前应充分脱气。

⑥油温在40~80℃使用。

⑦油应有搅拌。静止油冷却强度为0.25~0.30;激烈搅拌油冷却强度为0.8~1.1。

⑧真空油淬时的高温瞬时渗碳现象。

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