氮化硼热压烧结工艺

氮化硼热压烧结工艺

1)采用热压炉
2)石墨模具
模身用高纯石墨或电极石墨;压柱用高纯炭精棒;压头用高纯炭精块或高强石墨;底垫,用高纯炭精块或电极石墨。
石墨模具的设计理应按热压时所消耗的热量来计算所需要的电阻值,根据电阻值再计算石墨模的长度及横截面积。但热压BN产品多为圆柱形,在石墨模的不同部位其横截面积各不相同,同时BN产品尺寸多样化,因此无法以一个统一的计算公式来计算石墨模的横截面积。

(3)装炉
热压是热压B N生产中关键的工序,而装炉又是其中的重要环节。装炉时要注意两点;
a,石墨模具要紧贴炉底。若其间有空隙,则加压时容易造成模具横向裂缝,在高温阶段通过大电流时会引起放电。
B.炉侧面紧固螺钉要拧紧,否则加压时模具会发生纵向开裂。

(4 )装料

在模孔中加满料,用铝压柱或硬木压柱压实后继续加料压实,使其密度约达0.9~1.0g/cm。若料面不够高,可再添料压之,以达到要求为止。冷压压力以30~40kg/cm°为宜。

装好料后取出铝压柱或硬木压柱,用高纯炭精压柱代之。在炭精压柱上放置高强石墨压头,并用压力机稍施压力。在石墨压头和机头间用A12O3;粉和石棉纸绝缘。

(5)升温,加压
室温~ 1300C, 30分钟,1300℃ 开始加压, 压力0-100kg/cm2
1300C~1700C, 30分钟, 压力100-250kg/cm2
1700℃ 保温10-15分钟, 保持压力250kg/cm2
断电, 使其自然冷却, 保压至1000℃以下停压, 不卸压

(6)出炉
松开炉两头紧固电极螺钉和侧面紧固螺钉。取模,用小于模孔的压柱顶出B N试样。