钼合金成型烧结

钼合金成型烧结

钼及钼合金具有高的高温强度和高温硬度,良好的导热性和导电性,低的热膨胀系数,优异的耐磨性和抗腐蚀性,被广泛应用于航天航空、能源电力、微电子、生物医药、机械加工、医疗器械、照明、玻纤、国防建设等领域。

(1)热等静压技术

气压烧结(热压烧结)技术是一种压制机械能与烧结热能耦合作用下的钼固结技术,热等静压是其中应用最成功的工艺。对烧结密度、组织均匀性和空隙率等烧结指标要求比较高的高端钼烧结产品,如TFTr—LCD用钼溅射靶材,国外大多采用热等静压技术,其产品质量远高于传统的冷等静压一无压烧结工艺,国内尚无类似生产工艺的报导。

(2)放电等离子烧结技术

放电等离子烧结技术(SPS)是一种利用通一断直流脉冲电流直接通电烧结的加压烧结法。其工艺原理是,电极通人通一断式直流脉冲电流时瞬间产生的放电等离子体、放电冲击压力、焦耳热和电场扩散作用,使烧结体内部各个颗粒均匀地自身产生焦耳热并使颗粒表面活化,从而利用粉末内部的自身发热作用实现烧结致密化,获得均质、致密、细晶的烧结组织。这种比传统烧结工艺低180~500℃,且高温等离子的溅射和放电冲击可清除粉末颗粒表面杂质(如去除表层氧化物等)和吸附的气体。