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SIC Vacuum Sintering Furnace

碳化硅真空烧结炉

产品系列:RVS-S Series

产品类别:真空烧结炉

最高工作温度:2400 ℃

极限真空度 :6.7*10⁻¹ Pa

应用:碳化硅(SiC)、氮化硅(Si3N4)、碳化硼(B4C)等。


简介:

该炉型主要用于碳化硅陶瓷制品的反应烧结、无压烧结、再结晶烧结和等静压烧结。也适用于氮化硅等其他陶瓷制品的烧结。烧结可在真空环境下进行,也可在充气保护气氛下进行。该设备可配备脱粘结剂和除尘系统,实现脱粘结剂和烧结一体化,提高工作效率。

主要优势

1. 减少氧化脱碳:真空环境下加热可显著减少材料表面的氧化脱碳,从而保持工件的表面质量。

2. 提高机械性能:2400℃的高温,加上保证的炉温均匀性和高精度的温控系统,满足了碳化硅烧结过程中严格的温度梯度要求,从而提高了产品质量。

3.节能安全:保温层设计合理,保温性能优异,减少热量损失,降低能耗。设备配备多重安全保护系统,确保设备稳定安全运行。

4.减少污染:由于加工在封闭的真空环境中进行,可有效防止环境中的污染物附着在工件上,从而达到更纯净的加工效果。

5.环保:真空烧结工艺几乎不排放任何有害气体,对环境影响小,是一种更加环保的热处理方法。

相关配置

1.加热室

加热室:方形

加热元件:等静压石墨

加热室由不锈钢框架、保温层、加热元件、保温组件和炉床组成。石墨加热元件具有优异的耐高温性能,最高工作温度可达2400℃。炉温均匀性极佳,保温层厚度适中,保温性能良好。

2.真空系统

根据客户需求,选配EVP、Leybold等国内外知名真空泵品牌。

3.控制系统

设备的PLC及电气元件采用西门子S7-1200可编程控制器,能够实时检测运行过程中的异常并发出报警,实现全自动化控制。

温控器采用国际知名的Eurotherm温控器,控制精度可达±0.5‰ F.S。功能丰富,包括不少于20组(可扩展)温度/时间设定、智能PID控制、加热控制通道自动切换等功能。

所有低压元器件均采用西门子产品,接线端子采用菲尼克斯电气等国际品牌,质量、性能和工艺均非常可靠,最大程度降低控制系统故障率。

技术参数:

型号 均温区尺寸 最高温度 极限真空度 炉温均匀性 装载量
RVS-225-S 200*200*500mm 2400℃ 6.7*10-1Pa ±5℃ 50Kg
RVS-4411-S 400*400*1100mm 2400℃ 6.7*10-1Pa ±5℃ 300Kg
RVS-5512-S 500*500*1200mm 2400℃ 6.7*10-1Pa ±5℃ 500Kg
RVS-6615-S 600*600*1500mm 2400℃ 6.7*10-1Pa ±5℃ 700Kg
RVS-7718-S 700*700*1800mm 2400℃ 6.7*10-1Pa ±5℃ 800Kg
RVS-8820-S 800*800*2000mm 2400℃ 6.7*10-1Pa ±5℃ 1000Kg
RVS-8522-S 850*850*2200mm 2400℃ 6.7*10-1Pa ±5℃ 1300Kg
RVS-9925-S 900*900*2500mm 2400℃ 6.7*10-1Pa ±5℃ 1500Kg
备注:提供定制服务,设备工作区可以根据客户产量 。

售后及验收服务

生产完成后,制造工厂将进行工厂验收测试,包括:

1.极限真空测试

2.压力上升速率测试

3.所有设备系统完整性检查

设备运抵用户现场后,将进行现场验收测试,包括:

1.整体安装

2.整体调试

3.用户培训

4.资料交接

保修

保修期为最终验收合格之日起一年。保修范围包括非人为损坏的部件(不包括消耗品/易损件),以及保修期内产生的人工维护服务和运输费用。